真空度測試儀

一 注意事項

請您在使用真空度測試儀前仔細閱讀本手冊◕₪╃•✘。

l 在開機之前請先接好所有測試連線線₪◕▩₪，如印表機連線線；

l 測量前₪◕▩₪，請檢查管型是否適合所檢測的真空管₪◕▩₪，以便準確測量◕₪╃•✘。

l 開機▩☁│₪↟、關機及測量時₪◕▩₪，不要觸及高壓線和磁控電流線₪◕▩₪，以防觸電◕₪╃•✘。

l 儀器在使用過程中₪◕▩₪，如發現線圈發出異常響聲₪◕▩₪，應考慮測試線短路或接觸不良₪◕▩₪，或者空氣十分潮溼₪◕▩₪，或真空斷路器表面罩有灰塵等因素◕₪╃•✘。

l 請不要使用汽油▩☁│₪↟、香蕉水等化學劑擦拭機器₪◕▩₪，而應使用柔軟乾燥的布◕₪╃•✘。

l 請確認當地電網電壓是否與本機供電電壓相符◕₪╃•✘。

交流220±10%  50/60HZ

l 請注意不要在雷雨的情況下使用機器◕₪╃•✘。

l 請不要破傷隨機所帶的線纜₪◕▩₪，以確保使用安全◕₪╃•✘。

l 儀器出現故障時₪◕▩₪，非本公司專業技術人員嚴禁擅自開啟儀器進行檢修◕₪╃•✘。

l 嚴禁高壓端直接或間接對地斷路◕₪╃•✘。

二 效能特點☁☁◕：

YSBZ6000真空度測試儀均採用基於電離電荷的取樣技術◕₪╃•✘。在磁控放電的研究中發現☁☁◕：在外激勵電源▩☁│₪↟、真空滅弧室的幾何尺寸▩☁│₪↟、所用材料一定時₪◕▩₪，真空滅弧室內的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關係₪◕▩₪，而與電離電流的峰值僅有機率上的相關間接關係◕₪╃•✘。因此₪◕▩₪，開發了基於電離電荷的取樣技術₪◕▩₪，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性◕₪╃•✘。

2高低壓管型測試

YSBZ6000真空度測試儀 另外對測試電壓輸出應用了兩個檔位(高壓3萬低壓2.5)₪◕▩₪，因此可對高低壓不同的各類管型時行有效測試◕₪╃•✘。

3內建國內真空滅弧室的測量曲線

真空滅弧室由於其幾何尺寸▩☁│₪↟、材料的不同₪◕▩₪，當內部真空度和外加激勵電源一定時₪◕▩₪，其放電電荷量是不同的₪◕▩₪，並且有相當的差異◕₪╃•✘。為準確測量₪◕▩₪，對每一種真空滅弧室必須有對應的從電離電荷量到真空度推算曲線,透過與國內主要真空滅弧室生產廠家的密切合作₪◕▩₪，取得了所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關係的資料₪◕▩₪，透過數學處理₪◕▩₪，將其特徵引數送入本系列產品◕₪╃•✘。因此₪◕▩₪，本系列產品內建所有真空滅弧室的測量曲線◕₪╃•✘。

4漏電電流的處理

對處於分斷狀態的真空滅弧室動觸頭加高壓靜觸頭端加負離子電流時₪◕▩₪，靜觸頭端會有數值不等的幾個微安的漏電電流₪◕▩₪，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異◕₪╃•✘。尤其是對於裝在整機上的真空滅弧室₪◕▩₪，由於其周邊的絕緣支撐件也有漏電₪◕▩₪，這些漏電的總和有更大的不穩定性和不可預測性◕₪╃•✘。並且在數值上與10E—4Pa數量級的真空滅弧室的電離電流相當◕₪╃•✘。我們採用二次起動高壓的方法₪◕▩₪，扣除了漏電電流₪◕▩₪，保證了無論是裝於整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度◕₪╃•✘。

5判別*漏氣的真空滅弧室

在本型機中₪◕▩₪，透過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣◕₪╃•✘。

6完善的輸入保護電路

當真空滅弧室的真空度非常低時₪◕▩₪，測量時真空滅弧室會被高壓擊穿₪◕▩₪，瞬間的高壓直接加至負離子電流取樣電路上₪◕▩₪，使其承受十分強的電衝擊◕₪╃•✘。取樣電路增加了完備的保護電路₪◕▩₪，即使儀器由於輸入端的高壓直接加到負離子電流取樣端居時間₪◕▩₪，微電腦保護裝置會立即起控₪◕▩₪，使其進入保護狀態₪◕▩₪，就不會造成電路嚴重的損壞◕₪╃•✘。

7資料記錄

內設微型印表機₪◕▩₪，可隨時打印出測試資料◕₪╃•✘。

三 技術引數

1所測真空泡☁☁◕：電壓等級6KV-35KV以上

2測量範圍☁☁◕：10-5-10-1Pa

3測量誤差☁☁◕：10-4-10-1Pa中誤差±10%

4測量解析度☁☁◕：10-5 Pa

5漏氣的滅弧室在測量中將發生電擊穿₪◕▩₪，本機處於保護狀態◕₪╃•✘。

6允許環溫☁☁◕：-20℃-50℃₪◕▩₪，如在0℃以下測試時請先將機器通電20分鐘後再使用◕₪╃•✘。

7空氣溼度☁☁◕：＜85%RH

8輸入電源☁☁◕：AC220V±10% 50/60HZ

9外形尺寸☁☁◕：350×320×225mm